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525系列CNC超级表面粗糙度测量仪

简要描述:

525系列CNC超级表面粗糙度测量仪可以同时进行表面粗糙度和形状 / 轮廓的测量。X1 轴和 Z2 轴的Z大驱动速度分别为40mm/s 和 200mm/s,可以高速定位,从而提高了多重轮廓 / 多工件测量的效率。X1 轴和 Z1 轴上装有三丰激光全息光栅尺,从而可以实现高分辨率 [X1 轴分辨率 :6.25nm, Z1 轴分辨率 :4nm/8nm(CS-
5000CNC),

更新时间:2021-10-14

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525系列CNC超级表面粗糙度测量仪

525系列CNC超级表面粗糙度测量仪福建三丰代理技术参数 :

X1 轴

测量范围 : 200mm

分辨率 : 0.00625µm

检测方法 : 激光全息光栅尺

测量速度 : 0.02 - 0.2mm/s (表面粗糙度)0.02 - 2mm/s (形状/轮廓)

测量方向 : 向前/向后

直线度 : (0.1+0.0015L)µm 使用标准测针(0.2+0.0015L)µm使用二倍长型测针

直线度 : (0.05+0.0003L)µm 使用标准测针(0.1+0.0015L)µm使用二倍长型测针(CS-H5000CNC)

指示精度 (20ºC): ±(0.3+0.002L)µm

指示精度 (20ºC): ±(0.16+0.001L)µm

L 为驱动长度 (mm)


525系列CNC超级表面粗糙度测量仪Z1 轴

测量范围 : 12mm (使用标准测针)

24mm (使用二倍长型测针)

分辨率 : 0.004µm (使用标准测针)

0.008µm (使用二倍长型测针)

0.001µm (使用标准测针)(CS-H500CNC)

0.002µm (使用二倍长型测针)(CS-H500CNC)

测针上/下运作 : 弧形运动

检测方法 : 激光全息光栅尺

指示精度 (20ºC): ±(0.3+I0.02HI)µm

指示精度 (20ºC): ±(0.07+I0.02HI)µm

H 为测量高度 (mm)

测力 : 4mN (使用标准测针)

0.75mN (使用二倍长型测针)

跟踪角度 : 向上 60º, 向下 60º

(取决于表面粗糙度)

测针针尖 : 参见 L-22 页

测针方向 : 向下

Z2 轴 (立柱)

测量范围 : 300mm 或 500mm

*CS-H5000CNC : 仅 300mm

分辨率 : 0.05µm

检测方法 : 反射型线性编码器

0 - 50mm/s (操纵杆控制模式)

基座尺寸 (W x D): 750 x 600mm

基座材料 : 花岗岩


超级轮廓测量装置Y 轴 *

测量范围 : 200mm

分辨率 : 0.05µm

0~50mm/s (操纵杆控制模式)

直线度 : 0.5µm/200mm

指示精度 (20ºC): ±(2+2L/200)µm

L 任意两点间的长度 (mm)

尺寸 (W x D x H): 800 x 620 x 1000mm

(800 x 620 x 1200mm: 高立柱型)

重量 : 240kg (250kg: 高立柱型)



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