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525系列-超级轮廓测量装置

525系列-超级轮廓测量装置
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产品型号:
CS/CS-H5000CNC
产品报价:
产品特点:
高精度测针型 CNC 表面测量仪可以同时进行表面粗糙度和形状 / 轮廓的测量。X1 轴和 Z2 轴的Z大驱动速度分别为40mm/s 和 200mm/s,可以高速定位,从而提高了多重轮廓 / 多工件测量的效率。X1 轴和 Z1 轴上装有三丰激光全息光栅尺,从而可以实现高分辨率 [X1 轴分辨率 :6.25nm, Z1 轴分辨率 :4nm/8nm(CS-
5000CNC),
  CS/CS-H5000CNC525系列-超级轮廓测量装置的详细资料:

超级轮廓测量装置技术参数 :

X1 轴
测量范围 : 200mm
分辨率 : 0.00625µm
检测方法 : 激光全息光栅尺
驱动速度 : zui大 40mm/s (CNC 模式)0 - 40mm/s (操纵杆控制模式)
测量速度 : 0.02 - 0.2mm/s (表面粗糙度)0.02 - 2mm/s (形状/轮廓)
测量方向 : 向前/向后
直线度 : (0.1+0.0015L)µm 使用标准测针(0.2+0.0015L)µm使用二倍长型测针
直线度 : (0.05+0.0003L)µm 使用标准测针(0.1+0.0015L)µm使用二倍长型测针(CS-H5000CNC)
指示精度 (20ºC): ±(0.3+0.002L)µm
指示精度 (20ºC): ±(0.16+0.001L)µm
L 为驱动长度 (mm)
超级轮廓测量装置Z1 轴
测量范围 : 12mm (使用标准测针)
24mm (使用二倍长型测针)
分辨率 : 0.004µm (使用标准测针)
0.008µm (使用二倍长型测针)
0.001µm (使用标准测针)(CS-H500CNC)
0.002µm (使用二倍长型测针)(CS-H500CNC)
测针上/下运作 : 弧形运动
检测方法 : 激光全息光栅尺
指示精度 (20ºC): ±(0.3+I0.02HI)µm
指示精度 (20ºC): ±(0.07+I0.02HI)µm
H 为测量高度 (mm)
测力 : 4mN (使用标准测针)
0.75mN (使用二倍长型测针)
跟踪角度 : 向上 60º, 向下 60º
(取决于表面粗糙度)
测针针尖 : 参见 L-22 页
测针方向 : 向下
Z2 轴 (立柱)
测量范围 : 300mm 或 500mm
*CS-H5000CNC : 仅 300mm
分辨率 : 0.05µm
检测方法 : 反射型线性编码器
驱动速度 : zui大 200mm/s (CNC 模式)
0 - 50mm/s (操纵杆控制模式)
基座尺寸 (W x D): 750 x 600mm
基座材料 : 花岗岩
超级轮廓测量装置Y 轴 *
测量范围 : 200mm
分辨率 : 0.05µm
驱动速度 : zui大 200mm/s (CNC 模式)
0~50mm/s (操纵杆控制模式)
工件zui大承重 : 20kg
直线度 : 0.5µm/200mm
指示精度 (20ºC): ±(2+2L/200)µm
L 任意两点间的长度 (mm)
尺寸 (W x D x H): 800 x 620 x 1000mm
(800 x 620 x 1200mm: 高立柱型)
重量 : 240kg (250kg: 高立柱型)

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