测定范围 X轴(mm) | 100 | 100 | 100 | 100 | 200 | 200 | 200 | 200 |
|---|
测定范围 Z1轴 表面粗糙度(µm) | 800,80,8 | 800,80,8 | 800,80,8 | 800,80,8 | 800,80,8 | 800,80,8 | 800,80,8 | 800,80,8 |
|---|
分解能 X轴(µm) | 0.05 | 0.05 | 0.05 | 0.05 | 0.05 | 0.05 | 0.05 | 0.05 |
|---|
分解能 Z1轴 表面粗糙度(µm) | 0.01(800 微米), 0.001(80 微米), 0.0001(8 微米) | 0.01(800 微米), 0.001(80 微米), 0.0001(8 微米) | 0.01(800 微米), 0.001(80 微米), 0.0001(8 微米) | 0.01(800 微米), 0.001(80 微米), 0.0001(8 微米) | 0.01(800 微米), 0.001(80 微米), 0.0001(8 微米) | 0.01(800 微米), 0.001(80 微米), 0.0001(8 微米) | 0.01(800 微米), 0.001(80 微米), 0.0001(8 微米) | 0.01(800 微米), 0.001(80 微米), 0.0001(8 微米) |
|---|
分解能 Z2轴 (µm) | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 |
|---|
测定方向 表面粗さ | 引向方向 | 引向方向 | 引向方向 | 引向方向 | 引向方向 | 引向方向 | 引向方向 | 引向方向 |
|---|
测定面方向 表面粗さ | 下方向 | 下方向 | 下方向 | 下方向 | 下方向 | 下方向 | 下方向 | 下方向 |
|---|
测定速度 X轴 表面粗糙度(mm/s) | 0.02, 0.05, 0.1, 0.2, 0.5, 1.0, 2.0, 5.0, 10, 20, 30 | 0.02, 0.05, 0.1, 0.2, 0.5, 1.0, 2.0, 5.0, 10, 20, 30 | 0.02, 0.05, 0.1, 0.2, 0.5, 1.0, 2.0, 5.0, 10, 20, 30 | 0.02, 0.05, 0.1, 0.2, 0.5, 1.0, 2.0, 5.0, 10, 20, 30 | 0.02, 0.05, 0.1, 0.2, 0.5, 1.0, 2.0, 5.0, 10, 20, 30 | 0.02, 0.05, 0.1, 0.2, 0.5, 1.0, 2.0, 5.0, 10, 20, 30 | 0.02, 0.05, 0.1, 0.2, 0.5, 1.0, 2.0, 5.0, 10, 20, 30 | 0.02, 0.05, 0.1, 0.2, 0.5, 1.0, 2.0, 5.0, 10, 20, 30 |
|---|
驱动速度 X轴(mm/s) | 0~40 | 0~40 | 0~40 | 0~40 | 0~40 | 0~40 | 0~40 | 0~40 |
|---|
驱动速度 CNC模式 X轴(mm/s) | 0~80 | 0~80 | 0~80 | 0~80 | 0~80 | 0~80 | 0~80 | 0~80 |
|---|
测定范围 Z1轴 轮廓形状(mm) | 60(水平状态±30) | 60(水平状态±30) | 60(水平状态±30) | 60(水平状态±30) | 60(水平状态±30) | 60(水平状态±30) | 60(水平状态±30) | 60(水平状态±30) |
|---|
分解能 Z1轴 轮廓形状(µm) | 0.04 | 0.04 | 0.04 | 0.04 | 0.04 | 0.04 | 0.04 | 0.04 |
|---|
驱动范围 Z2轴(mm) | 输入:300 | 500 | 500 | 700 | 输入:300 | 500 | 500 | 700 |
|---|
测定速度 X轴 轮廓形状(mm/s) | 0.02, 0.05, 0.1, 0.2, 0.5, 1.0, 2.0, 5.0, 10, 20, 30 | 0.02, 0.05, 0.1, 0.2, 0.5, 1.0, 2.0, 5.0, 10, 20, 30 | 0.02, 0.05, 0.1, 0.2, 0.5, 1.0, 2.0, 5.0, 10, 20, 30 | 0.02, 0.05, 0.1, 0.2, 0.5, 1.0, 2.0, 5.0, 10, 20, 30 | 0.02, 0.05, 0.1, 0.2, 0.5, 1.0, 2.0, 5.0, 10, 20, 30 | 0.02, 0.05, 0.1, 0.2, 0.5, 1.0, 2.0, 5.0, 10, 20, 30 | 0.02, 0.05, 0.1, 0.2, 0.5, 1.0, 2.0, 5.0, 10, 20, 30 | 0.02, 0.05, 0.1, 0.2, 0.5, 1.0, 2.0, 5.0, 10, 20, 30 |
|---|
测定方向 轮廓形状 | 推拉双向 | 推拉双向 | 推拉双向 | 推拉双向 | 推拉双向 | 推拉双向 | 推拉双向 | 推拉双向 |
|---|
测定面方向 轮廓形状 | 上下両方向 | 上下両方向 | 上下両方向 | 上下両方向 | 上下両方向 | 上下両方向 | 上下両方向 | 上下両方向 |
|---|
驱动速度 Z2轴(mm/s) | 0~30 | 0~30 | 0~30 | 0~30 | 0~30 | 0~30 | 0~30 | 0~30 |
|---|
驱动速度 CNC模式 Z2轴 (mm/s) | 0~30 | 0~30 | 0~30 | 0~30 | 0~30 | 0~30 | 0~30 | 0~30 |
|---|
笔尖形状 表面粗糙度 | 60°, R2 µm(R80 µinch) | 60°, R2 µm(R80 µinch) | 60°, R2 µm(R80 µinch) | 60°, R2 µm(R80 µinch) | 60°, R2 µm(R80 µinch) | 60°, R2 µm(R80 µinch) | 60°, R2 µm(R80 µinch) | 60°, R2 µm(R80 µinch) |
|---|
笔尖形状 轮廓形状 | 片角 stylus SPH-71: 先端角度12°, 先端半径25 µm (1000 µinch) | 片角 stylus SPH-71: 先端角度12°, 先端半径25 µm (1000 µinch) | 片角 stylus SPH-71: 先端角度12°, 先端半径25 µm (1000 µinch) | 片角 stylus SPH-71: 先端角度12°, 先端半径25 µm (1000 µinch) | 片角 stylus SPH-71: 先端角度12°, 先端半径25 µm (1000 µinch) | 片角 stylus SPH-71: 先端角度12°, 先端半径25 µm (1000 µinch) | 片角 stylus SPH-71: 先端角度12°, 先端半径25 µm (1000 µinch) | 片角 stylus SPH-71: 先端角度12°, 先端半径25 µm (1000 µinch) |
|---|
真直精度 X轴 表面粗糙度 | (0.05+0.001L) μm L=驱动长度(mm)[(2+1L) µinch] | (0.05+0.001L) μm L=驱动长度(mm)[(2+1L)µinch] | (0.05+0.001L) μm L=驱动长度(mm)[(2+1L)µinch] | (0.05+0.001L) μm L=驱动长度(mm)[(2+1L) µinch] | (0.1+0.002L)μm L=驱动长度(mm)[(4+2L) µinch] | (0.1+0.002L)μm L=驱动长度(mm)[(4+2L) µinch] | (0.1+0.002L)μm L=驱动长度(mm)[(4+2L) µinch] | (0.1+0.002L)μm L=驱动长度(mm)[(4+2L) µinch] |
|---|
真直精度 X轴 轮廓形状 | 0.8 微米 / 100 毫米 | 0.8 微米 / 100 毫米 | 0.8 微米 / 100 毫米 | 0.8 微米 / 100 毫米 | 2 微米 / 200 毫米 | 2 微米 / 200 毫米 | 2 微米 / 200 毫米 | 2 微米 / 200 毫米 |
|---|
指示精度 X轴 轮廓形状 | ±(0.8+0.01L) μm L=驱动长度(mm) 宽范围:1.8 μm / 100 mm 狭范围:1.05 μm / 25 mm | ±(0.8+0.01L) μm L=驱动长度(mm) 宽范围:1.8 μm / 100 mm 狭范围:1.05 μm / 25 mm | ±(0.8+0.01L) μm L=驱动长度(mm) 宽范围:1.8 μm / 100 mm 狭范围:1.05 μm / 25 mm | ±(0.8+0.01L) μm L=驱动长度(mm) 宽范围:1.8 μm / 100 mm 狭范围:1.05 μm / 25 mm | ±(0.8+0.015L) μm L=驱动长度(mm)广范围: 3.8 μm / 200 mm狭范围: 1.2 μm / 25 mm | ±(0.8+0.015L) μm L=驱动长度(mm)广范围: 3.8 μm / 200 mm狭范围: 1.2 μm / 25 mm | ±(0.8+0.015L) μm L=驱动长度(mm)广范围: 3.8 μm / 200 mm狭范围: 1.2 μm / 25 mm | ±(0.8+0.015L) μm L=驱动长度(mm)广范围: 3.8 μm / 200 mm狭范围: 1.2 μm / 25 mm |
|---|
指示精度 Z1轴 轮廓形状 | ±(1.2+|2H|/ 100) μm,H为从水平位置测量的高度(mm) | ±(1.2+|2H|/ 100) μm,H为从水平位置测量的高度(mm) | ±(1.2+|2H|/ 100) μm,H为从水平位置测量的高度(mm) | ±(1.2+|2H|/ 100) μm,H为从水平位置测量的高度(mm) | ±(1.2+|2H|/ 100) μm,H为从水平位置测量的高度(mm) | ±(1.2+|2H|/ 100) μm,H为从水平位置测量的高度(mm) | ±(1.2+|2H|/ 100) μm,H为从水平位置测量的高度(mm) | ±(1.2+|2H|/ 100) μm,H为从水平位置测量的高度(mm) |
|---|
测定力 表面粗糙度(mN) | 0.75 | 0.75 | 0.75 | 0.75 | 0.75 | 0.75 | 0.75 | 0.75 |
|---|
测长单元 X轴 | 光学式反射型线性编码器 | 光学式反射型线性编码器 | 光学式反射型线性编码器 | 光学式反射型线性编码器 | 光学式反射型线性编码器 | 光学式反射型线性编码器 | 光学式反射型线性编码器 | 光学式反射型线性编码器 |
|---|
测长单元 Z2轴 | 电磁感应方式绝对线性编码器 | 电磁感应方式绝对线性编码器 | 电磁感应方式绝对线性编码器 | 电磁感应方式绝对线性编码器 | 电磁感应方式绝对线性编码器 | 电磁感应方式绝对线性编码器 | 电磁感应方式绝对线性编码器 | 电磁感应方式绝对线性编码器 |
|---|
X轴倾斜角度(°) | ±45 | ±45 | ±45 | ±45 | ±45 | ±45 | ±45 | ±45 |
|---|
测长单元 Z1轴 | 差动电感 | 差动电感 | 差动电感 | 差动电感 | 差动电感 | 差动电感 | 差动电感 | 差动电感 |
|---|
笔尖上下移动 | 圆弧运动 | 圆弧运动 | 圆弧运动 | 圆弧运动 | 圆弧运动 | 圆弧运动 | 圆弧运动 | 圆弧运动 |
|---|
追随角度 登り(°) | 77 | 77 | 77 | 77 | 77 | 77 | 77 | 77 |
|---|
追随角度 下行(°) | 83 | 83 | 83 | 83 | 83 | 83 | 83 | 83 |
|---|
测定力 轮廓形状(mN) | 三十 | 三十 | 三十 | 三十 | 三十 | 三十 | 三十 | 三十 |
|---|
击球限制功能 | 指定范围:-29 mm ~ +29 mm位置精度范围:±1 mm | 指定范围:-29 mm ~ +29 mm位置精度范围:±1 mm | 指定范围:-29 mm ~ +29 mm位置精度范围:±1 mm | 指定范围:-29 mm ~ +29 mm位置精度范围:±1 mm | 指定范围:-29 mm ~ +29 mm位置精度范围:±1 mm | 指定范围:-29 mm ~ +29 mm位置精度范围:±1 mm | 指定范围:-29 mm ~ +29 mm位置精度范围:±1 mm | 指定范围:-29 mm ~ +29 mm位置精度范围:±1 mm |
|---|
通信接口 | 通用串行总线 | 通用串行总线 | 通用串行总线 | 通用串行总线 | 通用串行总线 | 通用串行总线 | 通用串行总线 | 通用串行总线 |
|---|
笔尖材质 表面粗糙度 | 钻石 | 钻石 | 钻石 | 钻石 | 钻石 | 钻石 | 钻石 | 钻石 |
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基础材质 | 汉雷岩 | 汉雷岩 | 汉雷岩 | 汉雷岩 | 汉雷岩 | 汉雷岩 | 汉雷岩 | 汉雷岩 |
|---|
笔尖材质 轮廓形状 | 超硬 | 超硬 | 超硬 | 超硬 | 超硬 | 超硬 | 超硬 | 超硬 |
|---|
精度保证 温度范围(℃) | 19~21 | 19~21 | 19~21 | 19~21 | 19~21 | 19~21 | 19~21 | 19~21 |
|---|
精度保证 温度梯度(℃/h) | 2.0/8 | 2.0/8 | 2.0/8 | 2.0/8 | 2.0/8 | 2.0/8 | 2.0/8 | 2.0/8 |
|---|
保存环境温度范围(℃) | -10~50 | -10~50 | -10~50 | -10~50 | -10~50 | -10~50 | -10~50 | -10~50 |
|---|
保存环境湿度范围(非结露)(%RH) | 5~90 | 5~90 | 5~90 | 5~90 | 5~90 | 5~90 | 5~90 | 5~90 |
|---|
使用环境温度范围(℃) | 5~40(校正时和测量时的温度变化在±1℃以内) | 5~40(校正时和测量时的温度变化在±1℃以内) | 5~40(校正时和测量时的温度变化在±1℃以内) | 5~40(校正时和测量时的温度变化在±1℃以内) | 5~40(校正时和测量时的温度变化在±1℃以内) | 5~40(校正时和测量时的温度变化在±1℃以内) | 5~40(校正时和测量时的温度变化在±1℃以内) | 5~40(校正时和测量时的温度变化在±1℃以内) |
|---|
使用环境湿度范围(非结露)(%RH) | 20~80 | 20~80 | 20~80 | 20~80 | 20~80 | 20~80 | 20~80 | 20~80 |
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底座尺寸(mm) | 600 × 450 (23.6×17.7 英寸) | 600 × 450 (23.6×17.7 英寸) | 1000 × 450 (39.4×17.7 英寸) | 1000 × 450 (39.4×17.7 英寸) | 600 × 450 (23.6×17.7 英寸) | 600 × 450 (23.6×17.7 英寸) | 1000 × 450 (39.4×17.7 英寸) | 1000 × 450 (39.4×17.7 英寸) |
|---|
遥控盒(mm) | 248×102×62 (9.8×4×2.4 英寸) | 248×102×62 (9.8×4×2.4 英寸) | 248×102×62 (9.8×4×2.4 英寸) | 248×102×62 (9.8×4×2.4 英寸) | 248×102×62 (9.8×4×2.4 英寸) | 248×102×62 (9.8×4×2.4 英寸) | 248×102×62 (9.8×4×2.4 英寸) | 248×102×62 (9.8×4×2.4 英寸) |
|---|
远程盒子 质量(kg) | 0.9 | 0.9 | 0.9 | 0.9 | 0.9 | 0.9 | 0.9 | 0.9 |
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本体(mm) | 970×574×966 (38.2×22.6×38 英寸) | 970×574×1166 (38.2×22.6×45.9 英寸) | 1369×574×1176 (53.9×22.6×46.3 英寸) | 1369×574×1430 (53.9×22.6×56.3 英寸) | 980×574×966 (38.6×22.6×38 英寸) | 980×574×1166 (38.6×22.6×45.9 英寸) | 1379×574×1176 (54.3×22.6×46.3 英寸) | 1379×574×1430 (54.3×22.6×56.3 英寸) |
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本体质量(kg) | 140 | 150 | 220 | 270 | 140 | 150 | 220 | 270 |
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电源 | 100~120 V, 200~240 V ±10%, AC50 / 60 Hz | 100~120 V, 200~240 V ±10%, AC50 / 60 Hz | 100~120 V, 200~240 V ±10%, AC50 / 60 Hz | 100~120 V, 200~240 V ±10%, AC50 / 60 Hz | 100~120 V, 200~240 V ±10%, AC50 / 60 Hz | 100~120 V, 200~240 V ±10%, AC50 / 60 Hz | 100~120 V, 200~240 V ±10%, AC50 / 60 Hz | 100~120 V, 200~240 V ±10%, AC50 / 60 Hz |
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消耗电力 | 400 瓦 | 400 瓦 | 400 瓦 | 400 瓦 | 400 瓦 | 400 瓦 | 400 瓦 | 400 瓦 |
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