CV-1000 / CV-2000 218 系列 — 轮廓测量系统 技术参数 X1 轴 测量范围: 50mm (CV-1000) 或100mm (CV-2000) 分辨率: 0.2μm 检测方法: 反射型线性编码器 驱动速度: 0.2, 1mm/s 外加手动 测量速度: 0.2, 0.5mm/s 测量方向: 向后 直线度: 3.5μm / 50mm (CV-1000), 3.5μm / 100mm (CV-2000) * 以X1 轴为水平方向上 指示精度: ±(3.5+2L/100)μm * L = 驱动长度 (mm) 倾斜范围: ±45º (CV-2000) Z2 轴 (立柱, 仅用于CV-2000) 立柱类型: 电动 (S4 型) 和手动 (M4 型) 垂直移动: 250mm (S4 型), 320mm (M4 型) 驱动速度: 1 - 5mm/s 外加手动 Z1 轴 (检出器) 测量范围: 25mm (CV-1000) 或 40mm (CV-2000) 分辨率: 0.4μm (CV-1000) 或 0.5μm (CV-2000) 检测方法: 弧形编码器 指示精度: ±(3.5+I4HI/25)μm (20ºC 时) *H 为水平位置上的测量高度 (mm) 测针运作: 弧形运动 测针方向: 向下 测力: 10 - 30mN 跟踪角度: 向上: 77º, 向下: 87º (根据表面粗糙度，使用标准单切面测针) 测针针尖 半径: 25μm, 硬质合金针尖 基座尺寸 (W x H): 600 x 450mm (CV-2000) 基座材料: 花岗岩 (CV-2000) 重量: 5kg (CV-1000N2) 115kg (CV-2000M4) 130kg (CV-2000S4) 电源: 100 – 240VAC ±10%, 50/60Hz 性能参数 
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