218系列--轮廓测量仪

CV-1000 / CV-2000

218 系列 — 轮廓测量系统

技术参数

X1 轴

测量范围: 50mm (CV-1000) 或100mm (CV-2000)

分辨率: 0.2μm

检测方法: 反射型线性编码器

驱动速度: 0.2, 1mm/s 外加手动

测量速度: 0.2, 0.5mm/s

测量方向: 向后

直线度: 3.5μm / 50mm (CV-1000),

3.5μm / 100mm (CV-2000)

* 以X1 轴为水平方向上

指示精度: ±(3.5+2L/100)μm

* L = 驱动长度 (mm)

倾斜范围: ±45º (CV-2000)

Z2 轴 (立柱, 仅用于CV-2000)

立柱类型: 电动 (S4 型) 和手动 (M4 型)

垂直移动: 250mm (S4 型), 320mm (M4 型)

驱动速度: 1 - 5mm/s 外加手动

Z1 轴 (检出器)

测量范围: 25mm (CV-1000) 或 40mm (CV-2000)

分辨率: 0.4μm (CV-1000) 或 0.5μm (CV-2000)

检测方法: 弧形编码器

指示精度: ±(3.5+I4HI/25)μm

(20ºC 时) *H 为水平位置上的测量高度 (mm)

测针运作: 弧形运动

测针方向: 向下

测力: 10 - 30mN

跟踪角度: 向上: 77º, 向下: 87º

(根据表面粗糙度，使用标准单切面测针)

测针针尖 半径: 25μm, 硬质合金针尖

基座尺寸 (W x H): 600 x 450mm (CV-2000)

基座材料: 花岗岩 (CV-2000)

重量: 5kg (CV-1000N2)

115kg (CV-2000M4)

130kg (CV-2000S4)

电源: 100 – 240VAC ±10%, 50/60Hz

性能参数