超高精影像测量机

超高精影像测量机的特点采用高精度气浮轴承线性导轨系统，从而将直线度误差减少到Z小。采用分辨率为0.01mm的玻璃光栅尺，此玻璃光栅尺由位于地下11米处的高精密工厂制造。通过使用热膨胀系数几乎为零的玻璃光栅尺，将温度变化对精度的影响减少到Z低。使用有限元方法（FiniteElementMethod）分析优化主机的机械结构。稳定的几何量精度