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测量显微镜的技术参数

发布时间:2020-12-09      点击次数:1305

       测量显微镜是采用用透、反射的方式对工件长度和角度作精密测量。特别适用于录像磁头、大规模集成电路线宽以及其它精密零件的测试仪器。广泛地适用于计量室、生产作业线及科学研究等部门。工作台除作X、Y坐标的移动外,还可以作360度的旋转,亦可以进行高度方向做Z坐标的测量;采用双筒目镜观察。照明系统除作透、反射照明外还可以作斜光线照明。仪器进一步可连接CCD电视摄像头,作工件的轮廓放大;亦可连接计算机进行数据处理等测量。

技术参数:

1、镜筒:粗动:调节范围 90毫米,微动:调节范围2毫米,高(Z)测量:范围1毫米,读数min0.001毫米(比较测量),镜筒:双目镜筒 俯角45度;

2、工作台:左右(X轴):移动范围25毫米,前后(Y轴):移动范围25毫米,分辨率:1微米,旋转:360度;

3、照明系统:光源:透射照明,8V12W 蓝、绿色滤光片、反射照明,8V12W 磨沙灯泡、绿色透光片、斜 照 明、8V12W绿色滤光片、电源:AC220±22V 50/60Hz;

4、光学系统:目镜:BWF 10X;物镜:4X、工作距离17.5、焦距28.8,10X、工作距离11.6、焦距15.4,40X、工作距离0.66、焦距4.4;

5、X---Y轴测量范围:50×13mm;

6、测微器分度值:0.01mm;

7、圆工作台角度测量范围:0°/360°;

8、仪器测量准确度:仪器示值误差±(5+L/15);

9、放大倍数 25×/100×

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