测量显微镜的技术参数

       测量显微镜是采用用透、反射的方式对工件长度和角度作精密测量。特别适用于录像磁头、大规模集成电路线宽以及其它精密零件的测试仪器。广泛地适用于计量室、生产作业线及科学研究等部门。工作台除作X、Y坐标的移动外，还可以作360度的旋转，亦可以进行高度方向做Z坐标的测量；采用双筒目镜观察。照明系统除作透、反射照明外还可以作斜光线照明。仪器进一步可连接CCD电视摄像头，作工件的轮廓放大；亦可连接计算机进行数据处理等测量。

技术参数：

1、镜筒：粗动：调节范围 90毫米，微动：调节范围2毫米，高（Z）测量：范围1毫米，读数_min0.001毫米（比较测量），镜筒：双目镜筒 俯角45度；

2、工作台：左右（X轴）：移动范围25毫米，前后（Y轴）：移动范围25毫米，分辨率：1微米，旋转：360度；

3、照明系统：光源：透射照明，8V12W 蓝、绿色滤光片、反射照明，8V12W 磨沙灯泡、绿色透光片、斜 照 明、8V12W绿色滤光片、电源：AC220±22V 50/60Hz；

4、光学系统：目镜：BWF 10X；物镜：4X、工作距离17.5、焦距28.8，10X、工作距离11.6、焦距15.4，40X、工作距离0.66、焦距4.4；

5、X---Y轴测量范围：50×13mm；

6、测微器分度值：0.01mm；

7、圆工作台角度测量范围：0°/360°；

8、仪器测量准确度：仪器示值误差±(5+L/15)；

9、放大倍数 25×/100×