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测量显微镜相比传统显微镜有哪些改变
点击次数:73 发布时间:2020-08-18
 
  随着自动化测量技术的发展,测量显微镜在传统的基础上有了较大的改变,主要表现在两个方面:一是成像瞄准系统已发展为使用CCD(ChargeCoupledDevice)成像瞄准技术。所成的像通过数据线传送到计算机并显示出来,这种成像方式比原来在目镜视场中所形成的图像更加直观清晰,大大降低了对线瞄准误差:二是读数装置由原来的玻璃线纹尺变为光栅尺计数。所得的数据直接传到计算机,通过特定的软件程序自动评定计算。不仅消除了人员的读数误差,同时还大幅度地提高了测量效率。
  测量显微镜是采用用透、反射的方式对工件长度和角度作精密测量。特别适用于录像磁头、大规模集成电路线宽以及其它精密零件的测试仪器。广泛地适用于计量室、生产作业线及科学研究等部门。工作台除作X、Y坐标的移动外,还可以作360度的旋转,亦可以进行高度方向做Z坐标的测量;采用双筒目镜观察。照明系统除作透、反射照明外还可以作斜光线照明。仪器进一步可连接CCD电视摄像头,作工件的轮廓放大;亦可连接计算机进行数据处理等测量。
  MF测量显微镜特点可观察清晰无闪光正像,且视场开阔。测量精度在同类设备中Z高(符合JISB7153标准)。使用经过验证的FS光学系列高NA物镜(长工作距离型)。金相显微镜和测量显微镜的功能相结合,提供了高分辨率观察和高精度测量的方法。照明装置(反射/透射)可选用高亮度LED灯泡或卤素灯泡(必选)。利用可变孔径光阑(反射/透射)可进行无衍射观察测量。
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